市販の卓上研磨機に設置できるUSBカメラ付き試料作製器

USBカメラをPCと接続し加工の様子をPC画面で見ながら作業ができる

映像で見る断面研磨

てこ式計測器による断面研磨

マイクロメータによる断面研磨

試料の傾き補正

試料の荷重

試料の固定

ブリント基板の断面研磨

クリンブハイト断面研磨

Arイオン斜め照射するための半導体ボンディング部の断面研磨

更なるは

薄片試料は耳石・岩石の試料作製器を開発中

研磨具と刃物とぎ器を組み付ける研磨機

参照

市販の上研磨機に設置することで電子部品や半導体などの分析観察用試料を作製可能にする装置。PCと接続したUSBカメラの装着により、加工の様子をPC画面で見ながら作業ができる。USBカメラは指先で保持具を操作するだけで自在に位置調節ができ、繰返し操作による位置ズレは1μm以下。同装置は加工中の削り代を目量１μm単位で自動停止する機能を備え、また試料の傾き角度を随時±3度補正する機能も装備。研磨荷重の支持にはばね式を採用し、試料のダメージの低減を図っている。試料固定台は挟持固定のワンタッチ着脱式で再利用が可能。筒型樹脂埋め治具により、1日がかりの樹脂包理とその硬化時間を大幅に低減。これまでになく簡単で早く安心・安定の断面試料の作製を可能とした。　　　　

手動ツマミ(C)はてこ式計測器自体の昇降において目量1μ単位で削りしろの設定およびてこ式構造を利用することで加工静止も兼備する。

.手動ツマミ(A)で試料台(試料)を羅線上に合わす作業は試料角度±3度の補正及び指先でワンタッ着脱は繰り返しの着脱においても加工面の平坦性を確保する。

面研磨の加工技術は高精度の要求が厳しい現状の中でArイオン法といった断面研磨装置などによって巧の腕による微細研磨は減少傾向かつまた巧技を受け継ぐためには極端な時間を必要と聞き及んでおります。そのArイオン法への対応は必要最小限の研磨代を確保する前処理の断面研磨が必要不可欠であって優位性を持つ断面研磨機の開発が肝要です。しかし、断面研磨機において避けられない壁となるのが所望部位を研磨途中で確認といった作業を行う回数削減の課題が今でも残っております。　その課題解決として独自の断面研磨機は研磨の様子をバソコンで見れるカメラ200倍の画像を観察しつつマイクロイクジゲータ(目量0.001mm)と併用することで確認回数を90％削減の断面研磨を可能にします。

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　　長い間、プリント基板・半導体の断面加工「ここだけの研磨機による断面サンプル製作について」

　　ご愛顧いただきありがとうございました。

2016-5-4

更新H.P、半自動断面加工試料調製器EKN10.15sは動画で加工中の様子を観察。

2012-6-17　

更新H.Pは「Arイオンビーム加工のための最も簡単な機械研磨による前処理方法」の紹介です。